Henry Edin St. Clair Deville y Friedrich Wöhler informaron por primera vez la síntesis de nitruro de silicio en 1857. En el método de síntesis que informaron, un crisol que contiene silicio se enterró en un crisol lleno de carbono y se calentó para reducir la infiltración de oxígeno. Informaron un producto que llamaron nitruro de silicio, pero no lograron descubrir su composición química. En 1879, Paul Schuetzenberger mezcló silicio con revestimiento (una pasta que puede usarse como un revestimiento de crisol, obtenido mezclando carbón, carbón o coque con arcilla) y la calienta en un alto horno, y lo informó como un compuesto con la composición de Si3N4. En 1910, Ludwig Weiss y Theodor Engelhardt calentaron el silicio en nitrógeno puro para obtener Si3N4. En 1925, Friederich y Sittig utilizaron la reducción carbotérmica para calentar el dióxido de silicio y el carbono al grado 1250-1300 en una atmósfera de nitrógeno para sintetizar nitruro de silicio.
El nitruro de silicio no se tomó en serio y se estudió durante décadas hasta que surgieron aplicaciones comerciales de nitruro de silicio. De 1948 a 1952, la compañía de diamantes de Acheson cerca de Niagara Falls, Nueva York, registró varias patentes para la fabricación y el uso de nitruro de silicio. En 1958, se usó nitruro de silicio producido por Union Carbide para fabricar tubos de termopar, boquillas de cohetes y crisoles para la fusión de metales. La investigación sobre nitruro de silicio en el Reino Unido comenzó en 1953 con el propósito de hacer piezas de alta temperatura para las turbinas de gas. Esto condujo al desarrollo de nitruro de silicio unido y nitruro de silicio prensado en caliente. En 1971, la Agencia de Proyectos de Investigación Avanzada de Defensa bajo el Departamento de Defensa de los Estados Unidos firmó un contrato de $ 17 millones con Ford y Westinghouse para desarrollar dos turbinas de gas cerámica.
Aunque las propiedades del nitruro de silicio se han conocido durante mucho tiempo, el nitruro de silicio (aproximadamente 2 × 5 µm de tamaño) que existe naturalmente en la Tierra no se descubrió hasta la década de 1990 en meteoritos. Este tipo de mineral de nitruro de silicio que se encuentra en la naturaleza se llama "Nierite" en honor a Alfred Otto Carl Nier, pionero en la investigación de espectrometría de masas. Sin embargo, hay evidencia de que este tipo de mineral de nitruro de silicio puede haberse encontrado en meteoritos en Azerbaiyán, la antigua Unión Soviética, antes. Los meteoritos que contienen minerales de nitruro de silicio también se han encontrado en la provincia de Guizhou, China. Además de existir en meteoritos en la Tierra, el nitruro de silicio también se distribuye en el polvo cósmico en el espacio exterior.
